Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 317, № 4: Энергетика.— 2010.— [С. 115-120]
Autor principal:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Sumario:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок.
Lenguaje:	ruso
Publicado:	2010
Colección:	Энергетика
Materias:	электропривод сканирования автоматизированные системы управления АСУ управление вакуумное напыление установки труды учёных ТПУ электронный ресурс
Acceso en línea:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v317/i4/25.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192930

Descripción
Descripción Física:	1 файл (150 Кб)
Sumario:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок.

Ejemplares similares