Нечаев М. А. Михаил Анатольевич. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика. 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика. 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика. 2010, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.