Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Bibliographic Details
Main Author:	Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Other Authors:	Велихов Е. П. (автор предисловия)
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1988
Series:	Проблемы науки и технического прогресса: ПНТП
Subjects:	микроэлектроника полупроводниковые пленки получение эпитаксия кристаллы рост аморфные подложки кристаллизация кремний
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192043

Similar Items

Эпитаксиальные пленки
by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Published: (Москва, Наука, 1971)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, Сибирское отделение, 1981)

Жидкофазная эпитаксия кремния
Published: (Москва, Металлургия, 1989)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Published: (2008)

Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1989)

Поверхность кристалла и эпитаксия
by: Абдурагимов Г. А. Гаджи Асланович
Published: (Ростов-на-Дону, Изд-во Ростовского ун-та, 1987)

Исследование морфологии и спектральных свойств гетерокомпозиций GESI/SI, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.04.15
by: Лапин В. А. Вячеслав Анатольевич
Published: (Нальчик, 2013)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Ч. 1 : Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов; Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, 1984)

Синтез и рост совершенных кристаллов и пленок полупроводников: сборник статей
Published: (Новосибирск, Наука, 1981)

Репродукционная эпитаксия
by: Маслов В. Н. Вадим Николаевич
Published: (Москва, Металлургия, 1981)

Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
by: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Т. 4 : Молекулярно-лучевая эпитаксия. Поверхность; 7 Всесоюзная конференция по росту кристаллов; Симпозиум по молекулярно-лучевой эпитаксии, Москва, 14-19 ноября 1988 г.
Published: (1988)

Т. 17; Рост кристаллов
Published: (1988)

Кинетика кристаллизации и перекристализации полупроводниковых плёнок
by: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Published: (Новосибирск, Наука, 1985)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
by: Архипов А. В.
Published: (Самара, Самарский университет, 2022)

Эпитаксиальные слои GaN на кремниевых подложках для AlGaN/GaN гетероструктур с высокой подвижностью электронов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.11
by: Малин Т. В. Тимур Валерьевич
Published: (Новосибирск, 2025)

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
by: Акчурин Р. Х.
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Т. 2 : Рост кристаллов из растворов. Выращивание монокристаллов и пленок высокотемпературных сверхпроводников; 7 Всесоюзная конференция по росту кристаллов; Симпозиум по молекулярно-лучевой эпитаксии, Москва, 14-19 ноября 1988 г.
Published: (1988)

Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Филимонова Н. И. Нина Ивановна
Published: (Новосибирск, 2011)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1969)

Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Филимонова Н. И. Нина Ивановна
Published: (Томск, 2011)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Зарождение и рост кристаллов
by: Шубников А. В. Алексей Васильевич
Published: (Москва, Наука, 1969)

Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур «полупроводник на диэлектрике»: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Филимонова Н. И. Нина Ивановна
Published: (Томск, 2011)

Кн. 1; Технология СБИС
Published: (1986)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
by: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Published: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Т. 18; Рост кристаллов
Published: (1990)

Ч. 1 : Физико-химические основы методов синтеза; Материалы электронной техники
Published: (1983)

Т. 1 : Рост кристаллов из газовой фазы. Твердофазные превращения; 7 Всесоюзная конференция по росту кристаллов; Симпозиум по молекулярно-лучевой эпитаксии, Москва, 14-19 ноября 1988 г.
Published: (1988)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
by: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Высшая школа, 1980)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
by: Рыбин Н. Б.
Published: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок: монография
by: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Published: (Новосибирск, Наука, 1978)

Самоформирование ситемы высокоупорядоченных наноостровков германия при эпитаксии на профилированные кремниевые (111) подложки в условиях электропереноса; Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 75, вып. 1-2
by: Закурдаев И. В.
Published: (2002)

Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Энергия, 1974)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, 1988)

Механизмы формирования квантовых точек GaN методом аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Майдэбура Я. Е. Ян Евгеньевич
Published: (Новосибирск, 2025)

Ч. 2; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (1977)

Ч. 1; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (1977)