Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Otros Autores:	Велихов Е. П. (автор предисловия)
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Москва, Наука, 1988
Colección:	Проблемы науки и технического прогресса: ПНТП
Materias:	микроэлектроника полупроводниковые пленки получение эпитаксия кристаллы рост аморфные подложки кристаллизация кремний
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192043

Ejemplares similares