Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Andre forfattere:	Велихов Е. П. (автор предисловия)
Sprog:	russisk
Udgivet:	Москва, Наука, 1988
Serier:	Проблемы науки и технического прогресса: ПНТП
Fag:	микроэлектроника полупроводниковые пленки получение эпитаксия кристаллы рост аморфные подложки кристаллизация кремний
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192043

Lignende værker