|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
192043 |
| 005 |
20231031180935.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020138452
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\209415
|
| 090 |
|
|
|a 192043
|
| 100 |
|
|
|a 20110216d1988 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
|f Е. И. Гиваргизов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 176 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Проблемы науки и технического прогресса: ПНТП
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 158-176.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфные подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Гиваргизов
|b Е. И.
|g Евгений Инвиевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Велихов
|b Е. П.
|4 080
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110216
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150526
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
