Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Наука, 1988
|
| Series: | Проблемы науки и технического прогресса: ПНТП |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192043 |
| Physical Description: | 176 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5020138452 |