MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 191893
005 20231031180912.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\209257 
090 |a 191893 
100 |a 20110214d1975 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Электрооборудование кристаллизационных установок  |f Н. М. Черкасов 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1975 
215 |a 296 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 292-295. 
610 1 |a кристаллизационные установки 
610 1 |a электрооборудование 
610 1 |a автоматизация 
610 1 |a бестигельная зонная плавка 
610 1 |a электронно-лучевая термообработка 
610 1 |a системы контроля 
610 1 |a конструкции 
610 1 |a автоматическое регулирование 
610 1 |a процессы 
610 1 |a исследование 
610 1 |a аналитические методы 
610 1 |a зонная очистка 
610 1 |a плавка 
610 1 |a тигли 
610 1 |a метод Бриджмена 
610 1 |a метод Чохральского 
610 1 |a полупроводниковые монокристаллы 
610 1 |a профилированные монокристаллы 
610 1 |a выращивание 
610 1 |a эпитаксиальные пленки 
610 1 |a арсенид галлия 
610 1 |a кремний 
610 1 |a германий 
610 1 |a наладочные работы 
610 1 |a измерительная аппаратура 
675 |a 621.315.59  |v 3 
700 1 |a Черкасов  |b Н. М.  |g Николай Максимович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110214 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20110408  |g RCR 
942 |c BK