|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
189807 |
| 005 |
20231101224232.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\206536
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\206535
|
| 090 |
|
|
|a 189807
|
| 100 |
|
|
|a 20110111j20101228k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов
|e диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук
|e спец. 01.04.20
|f И. Б. Степанов
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 349 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 28.12.2010 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 303-339 (366 назв.).
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронно-ионная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20384
|9 45493
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсно-периодическая ионная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-дуговой разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a источники
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a разработка
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумная дуга
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a комбинированные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.359(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.20
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|
| 702 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|4 695
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110111
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130429
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
