Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20

Bibliographic Details
Main Author:	Степанов И. Б. Игорь Борисович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (научный консультант)
Summary:	Защищена 28.12.2010 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, 2010
Subjects:	Электронно-ионная технология материалы импульсно-периодическая ионная обработка ионно-плазменная обработка ионно-лучевая обработка методы оборудование плазма очистка вакуумно-дуговой разряд ионы источники исследование разработка вакуумная дуга покрытия осаждение ионная имплантация комбинированные технологии диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189807

Description
Physical Description:	349 л. ил.
Summary:	Защищена 28.12.2010 г.

Similar Items