Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Степанов И. Б. Игорь Борисович
Collectivité auteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Autres auteurs:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (научный консультант)
Résumé:	Защита сост. 28.12.2010 г.
Langue:	russe
Publié:	Томск, Изд-во ТПУ, 2010
Sujets:	Электронно-ионная технология материалы импульсно-периодическая ионная обработка ионно-плазменная обработка ионно-лучевая обработка методы оборудование плазма очистка вакуумно-дуговой разряд ионы источники исследование разработка вакуумная дуга покрытия осаждение ионная имплантация комбинированные технологии авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189806

Documents similaires