Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Степанов И. Б. Игорь Борисович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (695)
Summary:	Защита сост. 28.12.2010 г.
Published:	Томск, Изд-во ТПУ, 2010
Subjects:	материалы импульсно-периодическая ионная обработка ионно-плазменная обработка ионно-лучевая обработка методы оборудование плазма очистка вакуумно-дуговой разряд ионы источники исследование разработка вакуумная дуга покрытия осаждение ионная имплантация комбинированные технологии авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189806

Description
Physical Description:	44 с. ил.
Summary:	Защита сост. 28.12.2010 г.

Similar Items