Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20

Bibliographic Details
Main Author: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Рябчиков А. И. Александр Ильич (научный консультант)
Summary:Защита сост. 28.12.2010 г.
Language:Russian
Published: Томск, Изд-во ТПУ, 2010
Subjects:
Электронно-ионная технология
материалы
импульсно-периодическая ионная обработка
ионно-плазменная обработка
ионно-лучевая обработка
методы
оборудование
плазма
очистка
вакуумно-дуговой разряд
ионы
источники
исследование
разработка
вакуумная дуга
покрытия
осаждение
ионная имплантация
комбинированные технологии
авторефераты диссертаций
труды учёных ТПУ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189806
Description
Physical Description:44 с. ил.
Summary:Защита сост. 28.12.2010 г.

Similar Items