Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Drugi avtorji:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Izvleček:	Защищена 29.12.2010 г.
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 2010
Teme:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

Podobne knjige/članki

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (Томск, 2010)

Магнетроны: пер. с англ.
od: Фиск Д.
Izdano: (Москва, Советское радио, 1948)

Релятивистские магнетроны
od: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Izdano: (Москва, Физматлит, 2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2017)

Технология и оборудование вакуумного напыления
od: Никитин М. М. Михаил Михайлович
Izdano: (Москва, Металлургия, 1992)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (2010)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны: учебное пособие для вузов
od: Плонский А. Ф.
Izdano: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
od: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Izdano: (2003)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления; Химия и химическая технология в XXI веке
od: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Izdano: (2020)

Обзор метода упрочнение деталей с помощью плазменного напыления; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
od: Сидоренко А. С.
Izdano: (2019)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Izdano: (2013)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
od: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Izdano: (2010)

Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering; Journal of Electronic Materials; Vol. 45, iss. 8
Izdano: (2016)

Особенности структуры покрытий системы Al-Ni, полученных воздушно-плазменным напылением; Современные технологии и материалы новых поколений
od: Рубцова О. А.
Izdano: (2017)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
od: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Izdano: (2008)

Изучение особенностей формирования покрытий из TIB2 на металлической основе при газотермическом напылении; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
od: Шнайдт Е. И.
Izdano: (2009)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
od: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Izdano: (Томск, [Б. и.], 1979)

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
od: Бардова А. Е.
Izdano: (2015)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
od: Митюшкина В. Ю.
Izdano: (2000)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Izdano: (2019)

Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Бардова А. Е.
Izdano: (2015)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Izdano: (2004)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Izdano: (2022)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Izdano: (2018)

Нанесение покрытий: Текст лекций
od: Биронт В. С. Виталий Семенович
Izdano: (Красноярск, Изд-во ГАЦМиЗ, 1994)

Влияние обработки поверхности титана ВТ 1-0 перед напылением магнетронных покрытий на топографию и физико-химические свойства; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Izdano: (2012)

Модификация поверхности политетрафторэтилена путем напыления ВЧ-магнетронного покрытия на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Прямушко Т. С.
Izdano: (2014)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
od: Гирш А. В.
Izdano: (2017)

Численное моделирование температурных полей системы "частица-подложка" при внедрении частицы в плавящуюся подложку; Физика и химия обработки материалов; № 6
od: Кузнецов Г. В. Гений Владимирович
Izdano: (2003)

Восстановление пространственного распределения частиц по данным радиолокационного сканирования плоским лучом; Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика; № 8
od: Ершов А. Н.
Izdano: (2004)

Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Першукова А. Г.
Izdano: (2016)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
od: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Izdano: (2014)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Жукова М. А.
Izdano: (2007)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
od: Abrahamyan A. S.
Izdano: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
od: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Izdano: (2020)

Плазменное напыление в производстве изделий электронной техники
od: Лясников В. Н. Владимир Николаевич
Izdano: (Саратов, Изд-во Саратовского ун-та, 1985)