Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altres autors:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (727), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (695)
Sumari:	Защищена 29.12.2010 г.
Idioma:	rus
Publicat:	Томск, 2010
Matèries:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

Ítems similars

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03
per: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicat: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03
per: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicat: (Томск, 2010)

Магнетроны пер. с англ.
per: Фиск Д.
Publicat: (Москва, Советское радио, 1948)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, 2017)

Релятивистские магнетроны
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Москва, Физматлит, 2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2017)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны учебное пособие для вузов
per: Плонский А. Ф.
Publicat: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
per: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicat: (2010)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"
per: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicat: (2003)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления
per: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicat: (2020)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук спец.01.04.20
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1988)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
per: Пархоменко Ю. Н.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2017)

Обзор метода упрочнение деталей с помощью плазменного напыления
per: Сидоренко А. С.
Publicat: (2019)

Восстановление деталей машин напылением и наплавкой
per: Сидоров А. И. Алексей Иванович
Publicat: (Москва, Машиностроение, 1987)

Металлизационные покрытия
per: Шаров В. М.
Publicat: (Киев, Будiвельник, 1981)

Газотермические покрытия библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы (1980-1984)
Publicat: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Теоретические основы технологии плазменного напыления учебное пособие для вузов
per: Пузряков А. Ф. Анатолий Филиппович
Publicat: (Москва, Изд-во МГТУ, 2008)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук спец. 01.04.20
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1988)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
per: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Publicat: (2010)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
per: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Publicat: (Москва, МИСИС, 2015)

Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering
Publicat: (2016)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 05.09.04
per: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1979)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
per: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Publicat: (2008)

Радиопередающие устройства сверхвысоких частот [учебное пособие]
per: Минаев М. И. Михаил Иванович
Publicat: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.04
per: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1979)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления
per: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Publicat: (2013)

Особенности структуры покрытий системы Al-Ni, полученных воздушно-плазменным напылением
per: Рубцова О. А.
Publicat: (2017)

Аморфные и нанокристаллические материалы плазменного напыления
per: Лепешев А. А. Анатолий Александрович
Publicat: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона
per: Митюшкина В. Ю.
Publicat: (2000)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Publicat: (2019)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
per: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicat: (Москва, Техносфера, 2010)

Вып. 62
Publicat: (1982)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target
Publicat: (2004)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Publicat: (2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
per: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publicat: (2022)

Инженерный расчет теплофизических процессов при плазменном напылении
per: Иванов Е.М. Евгений Михайлович
Publicat: (Саратов, Изд-во Сарат. ун-та, 1983)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)