Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
সংস্থা লেখক:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
অন্যান্য লেখক:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
সংক্ষিপ্ত:	Защищена 29.12.2010 г.
ভাষা:	রুশ
প্রকাশিত:	Томск, 2010
বিষয়গুলি:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
বিন্যাস:	গ্রন্থ
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

অনুরূপ উপাদানগুলি