Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altri autori:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Riassunto:	Защищена 29.12.2010 г.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Томск, 2010
Soggetti:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

Documenti analoghi