Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Institutionell upphovsman:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Övriga upphovsmän:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Sammanfattning:	Защищена 29.12.2010 г.
Språk:	ryska
Publicerad:	Томск, 2010
Ämnen:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
Materialtyp:	Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

Liknande verk