Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Shrnutí:	Защищена 29.12.2010 г.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, 2010
Témata:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования диссертации труды учёных ТПУ
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189779

Podobné jednotky