Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03 - Нечаев М. А. Михаил Анатольевич (Томск, 2010)
Защищена 29.12.2010 г.