|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
189779 |
| 005 |
20231101224230.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\206507
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\206505
|
| 090 |
|
|
|a 189779
|
| 100 |
|
|
|a 20110111j20101229k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 05.09.03
|f М. А. Нечаев
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев ; науч. конс. Ю. Н. Дементьев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 134 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 29.12.2010 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 125-131 (70 назв.).
|
| 606 |
1 |
|
|a Магнетроны
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\40720
|9 60557
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменное напыление в вакууме
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48965
|9 67780
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные вакуумные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a сканирование
|
| 610 |
1 |
|
|a электроприводы
|
| 610 |
1 |
|
|a системы управления
|
| 610 |
1 |
|
|a имитационное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a разработка
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.385.64(04)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.09.03
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Нечаев
|b М. А.
|c специалист в области электротехники
|c старший преподаватель Томского политехнического университета
|g Михаил Анатольевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27732
|
| 702 |
|
1 |
|a Бекишев
|b Р. Ф.
|c специалист в области электротехники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1940-
|g Рудольф Фридрихович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19768
|4 727
|
| 702 |
|
1 |
|a Дементьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области электротехники
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1953-
|g Юрий Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25853
|4 695
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110111
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110505
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
