Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, & Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, and Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич, et al. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.