Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок: [сборник] - Алимарин И. П. (Проблемы аналитической химии Т. 4)
Сборник отражает последние достижения аналитической химии в области исследования микрообъектов, тонких слоев вещества и пленок. Рассматривается применение различных микрокомпонентов в современной технике. Излагаются возможности применения различных методов для исследования тонких слоев и пленок. Сборник будет полезен широкому кругу специалистов, занимающихся исследованием состава различных микрообъектов, тонких пленок, пленочных структур, используемых в электронной технике, металлургии, химии, геологии, при исследованиях состава объектов космического происхождения, а также аспирантам и студентам старших курсов, изучающим современные методы аналитической химии, физику и химию твердого тела, технологию производства микроэлектронных приборов и устройств