Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок, [сборник]
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Сборник отражает последние достижения аналитической химии в области исследования микрообъектов, тонких слоев вещества и пленок. Рассматривается применение различных микрокомпонентов в современной технике. Излагаются возможности применения различных методов для исследования тонких слоев и пленок. Сборник будет полезен широкому кругу специалистов, занимающихся исследованием состава различных микрообъектов, тонких пленок, пленочных структур, используемых в электронной технике, металлургии, химии, геологии, при исследованиях состава объектов космического происхождения, а также аспирантам и студентам старших курсов, изучающим современные методы аналитической химии, физику и химию твердого тела, технологию производства микроэлектронных приборов и устройств |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Наука, 1977
|
| Series: | Проблемы аналитической химии Т. 4 |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189660 |
| Physical Description: | 306 с. |
|---|---|
| Summary: | Сборник отражает последние достижения аналитической химии в области исследования микрообъектов, тонких слоев вещества и пленок. Рассматривается применение различных микрокомпонентов в современной технике. Излагаются возможности применения различных методов для исследования тонких слоев и пленок. Сборник будет полезен широкому кругу специалистов, занимающихся исследованием состава различных микрообъектов, тонких пленок, пленочных структур, используемых в электронной технике, металлургии, химии, геологии, при исследованиях состава объектов космического происхождения, а также аспирантам и студентам старших курсов, изучающим современные методы аналитической химии, физику и химию твердого тела, технологию производства микроэлектронных приборов и устройств |