|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
189499 |
| 005 |
20231101224217.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785996303366
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\206025
|
| 090 |
|
|
|a 189499
|
| 100 |
|
|
|a 20101224d2011 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 2: Технологические аспекты
|f М. В. Акуленок [и др.]
|
| 210 |
|
|
|d 2011
|
| 215 |
|
|
|a 252 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 243-248.
|
| 330 |
|
|
|a Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологии микро-и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\200226
|y 978-5-9963-0341-0
|t Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
|o учебное пособие: в 2 т.
|f под ред. Ю. Н. Коркишко
|v Т. 2: Технологические аспекты
|d 2010-2011
|s Нанотехнологии
|
| 606 |
1 |
|
|a Нанотехнология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51510
|9 70088
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум-термическое испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a направленное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a газофазное химическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a автолегирование
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a диоксид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a сухое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-химическое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 620.3(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Акуленок
|b М. В.
|g Марина Викторовна
|
| 701 |
|
1 |
|a Андреев
|b В. М.
|g Владимир Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Громов
|b Д. Г.
|g Дмитрий Геннадьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Зиновьев
|b Д. В.
|g Дмитрий Валерьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Мочалов
|b А. И.
|g Алексей Иванович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101224
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150602
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Наноструктуры, нанотехнологии в электронике
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 94/20101223
|d 7
|e 253,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|f УФ:5
|
