APA (7th ed.) Citation

Акуленок М. В. Марина Викторовна, Андреев В. М. Владимир Михайлович, Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Зиновьев Д. В. Дмитрий Валерьевич, & Мочалов А. И. Алексей Иванович. (2011). Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2011.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Акуленок М. В. Марина Викторовна, Андреев В. М. Владимир Михайлович, Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Зиновьев Д. В. Дмитрий Валерьевич, and Мочалов А. И. Алексей Иванович. Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2011, 2011.

MLA (9th ed.) Citation

Акуленок М. В. Марина Викторовна, et al. Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2011, 2011.