Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01 - Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич (Томск, 2010)
Заглавие с титульного экрана