|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
188022 |
| 005 |
20240209122616.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\204098
|
| 090 |
|
|
|a 188022
|
| 100 |
|
|
|a 20101130d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
|e спец. 01.04.20
|f И. Б. Степанов
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (3.9 Мb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\206535
|t Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
|o спец. 01.04.20
|f И. Б. Степанов
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков
|c Томск
|n Изд-во ТПУ
|d 2010
|p 44 с.
|a Степанов, Игорь Борисович
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронно-ионная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20384
|9 45493
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсно-периодическая ионная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-дуговой разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a источники
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a разработка
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумная дуга
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a комбинированные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.359(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.20
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Степанов
|b И. Б.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1968-
|g Игорь Борисович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466
|9 12169
|
| 702 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|4 695
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130429
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/74.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
