Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Галперин В. А. Вячеслав Александрович
מחברים אחרים:	Данилкин Е. В. Евгений Владимирович (редактор), Мочалов А. И. Алексей Иванович, Тимошенков С. П.
סיכום:	В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
סדרה:	Нанотехнологии
נושאים:	Микроэлектронные схемы интегральные > Травление микроэлектроника наноэлектроника сухое травление вакуумно-плазменное травление процессы физико-химические основы технологические основы технологические параметры контроль плазма диагностика кремний плазмохимическое травление компьютерное моделирование микроэлектромеханические интегральные системы ультрабольшие интегральные системы плазменные технологии применение учебные пособия
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187964

פריטים דומים

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
מאת: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
יצא לאור: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
מאת: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
יצא לאור: (Москва, Радио и связь, 1983)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
יצא לאור: (2011)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
מאת: Владимирова Л. Н.
יצא לאור: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Ионное травление микроструктур
מאת: Данилин Б. С. Борис Степанович
יצא לאור: (Москва, Радио, 1979)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
יצא לאור: (Москва, Наука, 1992)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
מאת: Ходыревская Ю. И.
יצא לאור: (2012)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1987)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
מאת: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2018)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
יצא לאור: (Москва, Учеба, 2007)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Охотников В. В. Виталий Владимирович
יצא לאור: (2016)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
מאת: Родионов Ю. А.
יצא לאור: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
מאת: Владимирова Л. Н.
יצא לאור: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Проблемы субмикронной технологии
יצא לאור: (Москва, Наука, 1993)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
מאת: Данилин Б. С. Борис Степанович
יצא לאור: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
יצא לאור: (2009)

Травление титана и его сплавов
מאת: Усова В.В. Валентина Васильевна
יצא לאור: (Москва, Металлургия, 1984)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
מאת: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
יצא לאור: (2016)

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
מאת: Быстров Ю. А. Юрий Александрович
יצא לאור: (Москва, Радио и связь, 1988)

Регенерация электролитов полирования и травления; Экология и промышленность России; № 2
מאת: Фёдорова Е. А.
יצא לאור: (2002)

Способы металлографического травления: справочник: пер. с нем.
מאת: Беккерт М.
יצא לאור: (Москва, Металлургия, 1988)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
מאת: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
יצא לאור: (Москва, Высшая школа, 1987)

Comparison on Efficiency of Solid-Lubricant Fillers for Polyetheretherketone-Based Composites; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
יצא לאור: (2018)

Проблемы микроэлектронной технологии
יצא לאור: (Москва, Наука, 1992)

Проблемы переработки отходов травления алюминийсодержащих сплавов; Безопасность жизнедеятельности; № 6
מאת: Гавриленков А. М.
יצא לאור: (2002)

Технология травления и одновременной регенерации травильных растворов; Современные техника и технологии; Т. 3
מאת: Исмагулова А. Д.
יצא לאור: (2011)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
יצא לאור: (Москва, Юрайт, 2016)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
מאת: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2010)

Экспериментальные исследования и компьютерное моделирование процессов селективного химического травления титана ВТ1-0; Новые материалы. Создание, структура, свойства - 2010
מאת: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
יצא לאור: (2010)

Изучение модифицированной структуры полимеров методом травления кислородной плазмой; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
יצא לאור: (2011)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1969)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы: учебник для бакалавриата и магистратуры
יצא לאור: (Москва, Юрайт, 2016)

Травление кристаллов: теория, эксперимент, применение: пер. с англ.
מאת: Сангвал К. Кешра
יצא לאור: (Москва, Мир, 1990)

Травление полупроводников: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Мир, 1965)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
מאת: Мокеев О. К. Олег Константинович
יצא לאור: (Москва, Высшая школа, 1979)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
מאת: Терехов А. И.
יצא לאור: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
מאת: Королев М. А. Михаил Александрович
יצא לאור: (2009)

Травитель для анизотропной стали; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
מאת: Головина Е. Ю.
יצא לאור: (2017)

Справочник по металлографическому травлению: пер. с нем.
מאת: Беккерт М.
יצא לאור: (Москва, Металлургия, 1979)

Toxicology of Metals
מאת: Chang L. W. Louis W.
יצא לאור: (New York, Lewis Publishers, 1996)