Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, учебное пособие для вузов

Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Outros autores: Данилкин Е. В. Евгений Владимирович (340), Мочалов А. И. Алексей Иванович, Тимошенков С. П.
Summary:В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Idioma:ruso
Publicado: Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
Series:Нанотехнологии
Subjects:
микроэлектроника
наноэлектроника
сухое травление
вакуумно-плазменное травление
процессы
физико-химические основы
технологические основы
технологические параметры
контроль
плазма
диагностика
кремний
плазмохимическое травление
компьютерное моделирование
микроэлектромеханические интегральные системы
ультрабольшие интегральные системы
плазменные технологии
применение
учебные пособия
Formato: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187964

Títulos similares

Títulos similares