|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
187964 |
| 005 |
20231101224113.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785996300327
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\204011
|
| 090 |
|
|
|a 187964
|
| 100 |
|
|
|a 20101126d2010 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
|e учебное пособие для вузов
|f В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
|g под ред. С. П. Тимошенкова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c БИНОМ. Лаборатория знаний
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 283 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Нанотехнологии
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 275-280.
|
| 330 |
|
|
|a В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Травление
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43852
|9 63293
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a сухое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a диагностика
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a компьютерное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектромеханические интегральные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a ультрабольшие интегральные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Галперин
|b В. А.
|g Вячеслав Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Данилкин
|b Е. В.
|g Евгений Владимирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Мочалов
|b А. И.
|g Алексей Иванович
|
| 702 |
|
1 |
|a Тимошенков
|b С. П.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101126
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150610
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 94/20101223
|d 2
|e 275,00
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|
