Галперин В. А. Вячеслав Александрович, Данилкин Е. В. Евгений Владимирович, Мочалов А. И. Алексей Иванович, & Тимошенков С. П. (2010). Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Галперин В. А. Вячеслав Александрович, Данилкин Е. В. Евгений Владимирович, Мочалов А. И. Алексей Иванович, и Тимошенков С. П. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 2010.
Цитирование MLA (9-е изд.)Галперин В. А. Вячеслав Александрович, et al. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 2010.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.