Галперин В. А. Вячеслав Александрович, Данилкин Е. В. Евгений Владимирович, Мочалов А. И. Алексей Иванович, & Тимошенков С. П. (2010). Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Галперин В. А. Вячеслав Александрович, Данилкин Е. В. Евгений Владимирович, Мочалов А. И. Алексей Иванович, و Тимошенков С. П. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 2010.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Галперин В. А. Вячеслав Александрович, et al. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 2010.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.