Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Corporate Author: Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьев А. А. Андрей Александрович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Language:Russian
Published: Томск, Изд-во ТПУ, 2008
Subjects:
Плазменное напыление > Физико-химические процессы
плазменные напыления
металлизация
покрытия
классификация
плазма
газофазное осаждение
распыления
метод ионного осаждения
ионно-ассистированное осаждение
кластерно-лучевое нанесение
магнетронные распылительные системы
вакуумные технологические установки
низкотемпературная плазма
материаловедение
пленочные покрытия
учебные пособия
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2010/m195.pdf
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187952

Similar Items

Similar Items