Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Bibliografski detalji
Glavni autor: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Autor kompanije: Томский политехнический университет (ТПУ)
Daljnji autori: Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьев А. А. Андрей Александрович
Sažetak:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Jezik:ruski
Izdano: Томск, Изд-во ТПУ, 2008
Teme:
Online pristup:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2010/m195.pdf
Format: Elektronički Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187952

Slični predmeti