Плазменные покрытия (методы и оборудование), учебное пособие
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả của công ty: | |
| Tác giả khác: | , |
| Tóm tắt: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Nga |
| Được phát hành: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2008
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2010/m195.pdf |
| Định dạng: | Điện tử Sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187952 |
MARC
| LEADER | 00000nlm0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 187952 | ||
| 005 | 20240212095006.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\203960 | ||
| 090 | |a 187952 | ||
| 100 | |a 20101125d2008 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a j 001zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Плазменные покрытия (методы и оборудование) |e учебное пособие |f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев |g Томский политехнический университет (ТПУ) | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 210 | |a Томск |c Изд-во ТПУ |d 2008 | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 330 | |a Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля | ||
| 333 | |a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 452 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\161502 |y 5-98298-191-5 |t Плазменные покрытия (методы и оборудование) |o учебное пособие |f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев |g Томский политехнический университет (ТПУ) |c Томск |n Изд-во ТПУ |d 2008 |p 104 с. |s Инновационная образовательная программа |a Кривобоков, Валерий Павлович | |
| 606 | 1 | |a Плазменное напыление |x Физико-химические процессы |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962 |9 67777 | |
| 610 | 1 | |a плазменные напыления | |
| 610 | 1 | |a металлизация | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a классификация | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a газофазное осаждение | |
| 610 | 1 | |a распыления | |
| 610 | 1 | |a метод ионного осаждения | |
| 610 | 1 | |a ионно-ассистированное осаждение | |
| 610 | 1 | |a кластерно-лучевое нанесение | |
| 610 | 1 | |a магнетронные распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a вакуумные технологические установки | |
| 610 | 1 | |a низкотемпературная плазма | |
| 610 | 1 | |a материаловедение | |
| 610 | 1 | |a пленочные покрытия | |
| 610 | 1 | |a учебные пособия | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 675 | |a 621.793.74(075.8) |v 3 | ||
| 700 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Сочугов |b Н. С. |c доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета |g Николай Семенович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27206 | |
| 701 | 1 | |a Соловьев |b А. А. |g Андрей Александрович | |
| 712 | 0 | 2 | |a Томский политехнический университет (ТПУ) |c (1991-2009) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\376 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20101125 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20141118 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2010/m195.pdf | |
| 942 | |c CF | ||