Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Institutionell upphovsman: | |
| Övriga upphovsmän: | , |
| Sammanfattning: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2008
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2010/m195.pdf |
| Materialtyp: | Elektronisk Bok |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187952 |
| Sammanfattning: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
|---|