Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
| Parent link: | Магнетронные распылительные системы/ А. И. Кузьмичев. Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления.— , 2008 |
|---|---|
| सारांश: | Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения. |
| भाषा: | रूसी |
| प्रकाशित: |
2008
|
| विषय: | |
| स्वरूप: | पुस्तक |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=186951 |
समान संसाधन
Магнетронные распылительные системы
द्वारा: Данилин Б. С. Борис Степанович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1982)
द्वारा: Данилин Б. С. Борис Степанович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1982)
Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2022)
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2022)
Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
प्रकाशित: (2011)
प्रकाशित: (2011)
Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
द्वारा: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2019)
द्वारा: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
प्रकाशित: (Томск, [Б. и.], 2019)
Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно- плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.16.09
द्वारा: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
प्रकाशित: (Томск, 2012)
द्वारा: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
प्रकाशित: (Томск, 2012)
Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (2021)
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (2021)
Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
द्वारा: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
प्रकाशित: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
द्वारा: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
प्रकाशित: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)
Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, 2022)
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, 2022)
Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, 2022)
द्वारा: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
प्रकाशित: (Томск, 2022)
Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Целовальникова А. Е.
प्रकाशित: (2019)
द्वारा: Целовальникова А. Е.
प्रकाशित: (2019)
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
द्वारा: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
प्रकाशित: (2004)
द्वारा: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
प्रकाशित: (2004)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Рогожников Д. С.
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Рогожников Д. С.
प्रकाशित: (2016)
Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
प्रकाशित: (2019)
प्रकाशित: (2019)
Закономерности роста кальций-фосфатных покрытий, осажденных из плазмы ВЧ-магнетронного разряда; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Иванова А. А. Анна Александровна
प्रकाशित: (2012)
द्वारा: Иванова А. А. Анна Александровна
प्रकाशित: (2012)
Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий
द्वारा: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
प्रकाशित: (Москва, Машиностроение, 1990)
द्वारा: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
प्रकाशित: (Москва, Машиностроение, 1990)
Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
प्रकाशित: (2023)
द्वारा: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
प्रकाशित: (2023)
Плазменные порошковые покрытия
द्वारा: Борисов Ю. С. Юрий Сергеевич
प्रकाशित: (Киев, Технiка, 1986)
द्वारा: Борисов Ю. С. Юрий Сергеевич
प्रकाशित: (Киев, Технiка, 1986)
Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления; Приборы и техника эксперимента; № 1
द्वारा: Нагорный А. Г.
प्रकाशित: (2003)
द्वारा: Нагорный А. Г.
प्रकाशित: (2003)
Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
प्रकाशित: (2013)
प्रकाशित: (2013)
Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
द्वारा: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
प्रकाशित: (2009)
द्वारा: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
प्रकाशित: (2009)
Металлизация методом магнетронного напыления пластин из пластика, изготовленных на 3D-принтере; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 3
प्रकाशित: (2023)
प्रकाशित: (2023)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
प्रकाशित: (Томск, 2018)
द्वारा: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
प्रकाशित: (Томск, 2018)
Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
प्रकाशित: (2005)
प्रकाशित: (2005)
Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
द्वारा: Арсланов И. Р.
प्रकाशित: (2002)
द्वारा: Арсланов И. Р.
प्रकाशित: (2002)
Теоретические исследования и практическое применение плазменных износостойких покрытий
प्रकाशित: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)
प्रकाशित: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)
Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
द्वारा: Просолов К. А. Константин Александрович
प्रकाशित: (2017)
द्वारा: Просолов К. А. Константин Александрович
प्रकाशित: (2017)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
प्रकाशित: (2016)
प्रकाशित: (2016)
Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
द्वारा: Шипилова А. В. Анна Викторовна
प्रकाशित: (Томск, 2018)
द्वारा: Шипилова А. В. Анна Викторовна
प्रकाशित: (Томск, 2018)
Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions; Vacuum; Vol. 143
प्रकाशित: (2017)
प्रकाशित: (2017)
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
द्वारा: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
प्रकाशित: (2014)
द्वारा: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
प्रकाशित: (2014)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2012)
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2012)
Operation parameters of magnetron diode for high-rate deposition of aluminum films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
द्वारा: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
प्रकाशित: (2018)
द्वारा: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
प्रकाशित: (2018)
Dynamics of pulsed magnetron discharge in high-current electron guns; Technical Physics; Vol. 62, iss. 11
प्रकाशित: (2018)
प्रकाशित: (2018)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
द्वारा: Зелецов Д.
प्रकाशित: (2019)
द्वारा: Зелецов Д.
प्रकाशित: (2019)
Плазменная технология в машиностроении: [монография]
द्वारा: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
प्रकाशित: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)
द्वारा: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
प्रकाशित: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)
Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
द्वारा: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
प्रकाशित: (2014)
द्वारा: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
प्रकाशित: (2014)
Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
द्वारा: Андреева М. А.
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Андреева М. А.
प्रकाशित: (2016)
Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Шпакова Н. Ю.
प्रकाशित: (2011)
द्वारा: Шпакова Н. Ю.
प्रकाशित: (2011)
Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
द्वारा: Жукова М. А.
प्रकाशित: (2007)
द्वारा: Жукова М. А.
प्रकाशित: (2007)
Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2010)
द्वारा: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
प्रकाशित: (2010)