Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
| Parent link: | Магнетронные распылительные системы/ А. И. Кузьмичев. Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления.— , 2008 |
|---|---|
| 要約: | Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения. |
| 出版事項: |
2008
|
| 主題: | |
| フォーマット: | 図書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=186951 |
| 物理的記述: | 245 с. ил. |
|---|---|
| 要約: | Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения. |
| ISBN: | 9668934075 |