Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники, монография
| 1. Verfasser: | Васин В. А. Владимир Анатольевич |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович |
| Zusammenfassung: | Рассмотрены общие и специальные вопросы расчета и конструирования механизмов, применяемых в оборудовании для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — L-координатных исполнительных устройств и различных передаточных механизмов, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, а также вопросы расчёта механических систем оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, расчёта вероятности безотказной работы деталей, работающих под нагрузкой и др. Издание предназначено для инженерно-технических и научных работников занимающихся проектированием и созданием механических систем технологического и аналитического оборудования и может быть рекомендовано аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение». |
| Veröffentlicht: |
Москва, Изд-во НИИ ПМТ, 2010
|
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=186939 |
Ähnliche Einträge
Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники учебник для бакалавриата и магистратуры
Veröffentlicht: (Москва, Юрайт, 2016)
Veröffentlicht: (Москва, Юрайт, 2016)
Проектирование и расчет деталей механизмов приводов с применением ЭВМ учебное пособие
Veröffentlicht: (Куйбышев, Изд-во Куйбышевского авиационного ин-та, 1978)
Veröffentlicht: (Куйбышев, Изд-во Куйбышевского авиационного ин-та, 1978)
Теория передач в машинах межвузовский сборник
Veröffentlicht: (Новочеркасск, Изд-во НПИ, 1981)
Veröffentlicht: (Новочеркасск, Изд-во НПИ, 1981)
Механические передачи с промежуточными телами повышенной долговечности и точности учебное пособие
von: Беляев А. Е. Арнольд Ефраимович
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПИ, 1986)
von: Беляев А. Е. Арнольд Ефраимович
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПИ, 1986)
Анализ и синтез механизмов и теория передач [сборник статей]
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1965)
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1965)
Теория передач в машинах сборник статей
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1966)
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1966)
Проектирование механических передач учебное пособие для втузов
Veröffentlicht: (Москва, Инфра-М, 2014)
Veröffentlicht: (Москва, Инфра-М, 2014)
Детали машин. Расчет механических передач учебное пособие для академического бакалавриата
von: Буланов Э. А. Эдуард Александрович
Veröffentlicht: (Москва, Юрайт, 2016)
von: Буланов Э. А. Эдуард Александрович
Veröffentlicht: (Москва, Юрайт, 2016)
Атлас деталей машин. Передачи учебное пособие
von: Дашкевич Б. П. Борис Петрович
Veröffentlicht: (Киев, Гостехиздат, 1959)
von: Дашкевич Б. П. Борис Петрович
Veröffentlicht: (Киев, Гостехиздат, 1959)
Т. 5 : Кулачковые и фрикционные механизмы. Механизмы с гибкими звеньями
Veröffentlicht: (1981)
Veröffentlicht: (1981)
Проектирование механических передач приборов учебное пособие для вузов
von: Плюснин А. К. Александр Козьмич
Veröffentlicht: (Москва, Высшая школа, 1967)
von: Плюснин А. К. Александр Козьмич
Veröffentlicht: (Москва, Высшая школа, 1967)
Расчет механических передач на ЭВМ учебное пособие
von: Тажибаев С. Д. Санатбек Даулетбаевич
Veröffentlicht: (Алма-Ата, Мектеп, 1988)
von: Тажибаев С. Д. Санатбек Даулетбаевич
Veröffentlicht: (Алма-Ата, Мектеп, 1988)
Проектирование механических передач учебно-справочное пособие по курсовому проектированию механических передач
Veröffentlicht: (Москва, Альянс, 2008)
Veröffentlicht: (Москва, Альянс, 2008)
Приводы машин с импульсными вариаторами
von: Кропп А. Е. Абрам Ефроимович
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1988)
von: Кропп А. Е. Абрам Ефроимович
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1988)
Механические передачи [сборник статей]
Veröffentlicht: (Ижевск, [Б. и.], 1972)
Veröffentlicht: (Ижевск, [Б. и.], 1972)
Проектирование циклоидальных механических передач с промежуточными телами качения и свободной обоймой учебное пособие
von: Ефременков Е. А. Егор Алексеевич
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2022)
von: Ефременков Е. А. Егор Алексеевич
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2022)
Механические бесступенчатые нефрикционные передачи непрерывного действия
von: Леонов А. И. Анатолий Иванович
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1984)
von: Леонов А. И. Анатолий Иванович
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1984)
Т. 2 : Кулисно-рычажные и кривошипно-ползунные механизмы
Veröffentlicht: (1979)
Veröffentlicht: (1979)
Gears and Gear Drives
von: Jelaska D. Damir
Veröffentlicht: (Chichester, John Wiley & Sons, Ltd., 2012)
von: Jelaska D. Damir
Veröffentlicht: (Chichester, John Wiley & Sons, Ltd., 2012)
Проектирование циклоидальных механических передач с промежуточными телами качения и свободной обоймой учебное пособие
von: Ефременков Е. А. Егор Алексеевич
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2022)
von: Ефременков Е. А. Егор Алексеевич
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2022)
Т. 3 : Рычажно-кулачковые, рычажно-зубчатые, рычажно-храповые, рычадно-клиновые и винто-рычажные механизмы, механизмы с гибкими и упругими звеньями
Veröffentlicht: (1979)
Veröffentlicht: (1979)
Расчет и конструирование механического привода учебное пособие
von: Иванов Г. А. Геннадий Алексеевич
Veröffentlicht: (Москва, Академия, 2012)
von: Иванов Г. А. Геннадий Алексеевич
Veröffentlicht: (Москва, Академия, 2012)
Детали и механизмы приборов справочник
Veröffentlicht: (Киев, Технiка, 1978)
Veröffentlicht: (Киев, Технiка, 1978)
Алмаз в электронной технике сборник статей
Veröffentlicht: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)
Veröffentlicht: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)
Прецизионные механические передачи с промежуточными телами в редукторах приводов систем космических аппаратов диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.02.06 спец. 05.02.02
von: Янгулов В. С. Владимир Семенович
Veröffentlicht: (Томск, 2009)
von: Янгулов В. С. Владимир Семенович
Veröffentlicht: (Томск, 2009)
Прецизионные механические передачи с промежуточными телами в редукторах приводов систем космических аппаратов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.02.06 спец. 05.02.02
von: Янгулов В. С. Владимир Семенович
Veröffentlicht: (Томск, 2009)
von: Янгулов В. С. Владимир Семенович
Veröffentlicht: (Томск, 2009)
Механизмы приборов систем автоматики и вычислительной техники учебное пособие
von: Данелия А. С. Александр Семенович
Veröffentlicht: (Ленинград, Изд-во СЗПИ, 1978)
von: Данелия А. С. Александр Семенович
Veröffentlicht: (Ленинград, Изд-во СЗПИ, 1978)
Детали машин учебник для техникумов
von: Батурин А. Т.
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1970)
von: Батурин А. Т.
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1970)
Проектирование мелкомодульных передач приборов с применением ЭВМ
von: Истомин С. Н. Станислав Николаевич
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1985)
von: Истомин С. Н. Станислав Николаевич
Veröffentlicht: (Москва, Машиностроение, 1985)
Колебательные системы машинных агрегатов
von: Вейц В. Л. Владимир Львович
Veröffentlicht: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1979)
von: Вейц В. Л. Владимир Львович
Veröffentlicht: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1979)
Проектирование мальтийских механизмов
von: Сперанский Н. В. Николай Васильевич
Veröffentlicht: (Москва, Изд-во АН СССР, 1960)
von: Сперанский Н. В. Николай Васильевич
Veröffentlicht: (Москва, Изд-во АН СССР, 1960)
Детали машин и основы конструирования учебник для вузов
Veröffentlicht: (Москва, Дрофа, 2006)
Veröffentlicht: (Москва, Дрофа, 2006)
О замкнутых дифференциальных механизмах
von: Фот А. П.
Veröffentlicht: (2005)
von: Фот А. П.
Veröffentlicht: (2005)
Вып. 4 (15) : Исследования узлов и деталей ПТМ
Veröffentlicht: (1961)
Veröffentlicht: (1961)
Вып. 4 (36) : Исследование узлов и деталей ПТМ
Veröffentlicht: (1963)
Veröffentlicht: (1963)
Вып. 7 (49) : Исследования узлов и деталей ПТМ
Veröffentlicht: (1964)
Veröffentlicht: (1964)
Вып. 10 (42) : Исследования узлов и деталей ПТМ
Veröffentlicht: (1963)
Veröffentlicht: (1963)
Детали машин и механизмов учебник для вузов
von: Ступин А. В. Александр Валерьевич
Veröffentlicht: (Старый Оскол, ТНТ, 2020)
von: Ступин А. В. Александр Валерьевич
Veröffentlicht: (Старый Оскол, ТНТ, 2020)
Синтез механизмов (конспект лекций по теории механизмов и машин)
von: Коровкин М. Д. Михаил Дмитриевич
Veröffentlicht: (Харьков, Изд-во Харьковского авиационного ин-та, 1979)
von: Коровкин М. Д. Михаил Дмитриевич
Veröffentlicht: (Харьков, Изд-во Харьковского авиационного ин-та, 1979)
Исследование прочности элементов зацепления зубчато-роликовых передач диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.02.06
von: Тубольцева С. С. Светлана Семеновна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1980)
von: Тубольцева С. С. Светлана Семеновна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1980)
Ähnliche Einträge
-
Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники учебник для бакалавриата и магистратуры
Veröffentlicht: (Москва, Юрайт, 2016) -
Проектирование и расчет деталей механизмов приводов с применением ЭВМ учебное пособие
Veröffentlicht: (Куйбышев, Изд-во Куйбышевского авиационного ин-та, 1978) -
Теория передач в машинах межвузовский сборник
Veröffentlicht: (Новочеркасск, Изд-во НПИ, 1981) -
Механические передачи с промежуточными телами повышенной долговечности и точности учебное пособие
von: Беляев А. Е. Арнольд Ефраимович
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПИ, 1986) -
Анализ и синтез механизмов и теория передач [сборник статей]
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1965)