| Sumari: | Рассмотрены общие и специальные вопросы расчета и конструирования механизмов, применяемых в оборудовании для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — L-координатных исполнительных устройств и различных передаточных механизмов, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, а также вопросы расчёта механических систем оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, расчёта вероятности безотказной работы деталей, работающих под нагрузкой и др. Издание предназначено для инженерно-технических и научных работников занимающихся проектированием и созданием механических систем технологического и аналитического оборудования и может быть рекомендовано аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение». |
|---|
