|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
186939 |
| 005 |
20231101224027.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785896710073
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\202820
|
| 090 |
|
|
|a 186939
|
| 100 |
|
|
|a 20101108d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники
|e монография
|f В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во НИИ ПМТ
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 211 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 202-204.
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрены общие и специальные вопросы расчета и конструирования механизмов, применяемых в оборудовании для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — L-координатных исполнительных устройств и различных передаточных механизмов, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, а также вопросы расчёта механических систем оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, расчёта вероятности безотказной работы деталей, работающих под нагрузкой и др. Издание предназначено для инженерно-технических и научных работников занимающихся проектированием и созданием механических систем технологического и аналитического оборудования и может быть рекомендовано аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение».
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронные приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20478
|9 45579
|
| 606 |
1 |
|
|a Передачи механические
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\68908
|9 83982
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a исполнительные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a механические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a волновые зубчатые передачи
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a передаточные механизмы
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a опорные узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a червячно-зубчатые механизмы
|
| 610 |
1 |
|
|a шарикоподшипники
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы трения
|
| 610 |
1 |
|
|a газовыделение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a монографии
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.002.3
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.83
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Васин
|b В. А.
|g Владимир Анатольевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Ивашов
|b Е. Н.
|g Евгений Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанчиков
|b С. В.
|g Сергей Валентинович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101108
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101112
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
