Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники, монография
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рассмотрены общие и специальные вопросы расчета и конструирования механизмов, применяемых в оборудовании для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — L-координатных исполнительных устройств и различных передаточных механизмов, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, а также вопросы расчёта механических систем оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, расчёта вероятности безотказной работы деталей, работающих под нагрузкой и др. Издание предназначено для инженерно-технических и научных работников занимающихся проектированием и созданием механических систем технологического и аналитического оборудования и может быть рекомендовано аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение». |
| Published: |
Москва, Изд-во НИИ ПМТ, 2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=186939 |
| Physical Description: | 211 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | Рассмотрены общие и специальные вопросы расчета и конструирования механизмов, применяемых в оборудовании для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — L-координатных исполнительных устройств и различных передаточных механизмов, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, а также вопросы расчёта механических систем оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, расчёта вероятности безотказной работы деталей, работающих под нагрузкой и др. Издание предназначено для инженерно-технических и научных работников занимающихся проектированием и созданием механических систем технологического и аналитического оборудования и может быть рекомендовано аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение». |
| ISBN: | 9785896710073 |