APA (7th ed.) Citation

Васин В. А. Владимир Анатольевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, & Степанчиков С. В. Сергей Валентинович. (2010). Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники: монография. Москва, Изд-во НИИ ПМТ, 2010.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Васин В. А. Владимир Анатольевич, Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, and Степанчиков С. В. Сергей Валентинович. Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники: монография. Москва, Изд-во НИИ ПМТ, 2010, 2010.

MLA (9th ed.) Citation

Васин В. А. Владимир Анатольевич, et al. Механизмы оборудования для производства полупроводников , материалов и приборов электронной техники: монография. Москва, Изд-во НИИ ПМТ, 2010, 2010.