|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
185579 |
| 005 |
20231031173024.0 |
| 010 |
|
|
|a 9850900369
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\201296
|
| 090 |
|
|
|a 185579
|
| 100 |
|
|
|a 20101012d1994 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|f Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, А. Ф. Буренков
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Унiверсiтэцкае
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 303 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 289-301.
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a прикладные задачи
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Комаров
|b Ф. Ф.
|g Фадей Фадеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Новиков
|b А. П.
|g Александр Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Буренков
|b А. Ф.
|g Александр Федорович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101012
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180601
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
