Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 316, № 4: Энергетика.— 2010.— [С. 85-89] |
|---|---|
| 1. autor: | |
| Kolejni autorzy: | |
| Streszczenie: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Приведены результаты исследований применимости метода высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и/или осаждения покрытий с использованием вакуумно-дуговой и абляционной плазмы к проводящим и диэлектрическим подложкам. Показано, что ионная имплантация с компенсацией ионного распыления осаждением покрытия из плазмы и ионно-ассистированное осаждение покрытия могут быть реализованы для металлических и диэлектрических образцов посредством изменения отрицательного потенциала смещения в диапазоне 0...4 кВ при частоте повторения импульсов (2...4,4).105 имп/с, длительности импульса 0,5...2 мкс и коэффициенте заполнения импульсов 0,1...0,9. Экспериментально установлено, что при осаждении покрытий из абляционной плазмы, полученной воздействием высокоинтенсивного ионного пучка длительностью 90 нс, с плотностью тока 3.10-2 А/м2 и энергией ионов 350 кэВ на мишень, микродуговые явления на поверхности подложки наблюдаются при постоянном потенциале смещения более -60 В. Переход на импульсы длительностью 0,5 мкс позволил увеличить потенциал смещения до -4 кВ. Обсуждается возможность применения высокочастотных, короткоимпульсных потенциалов смещения для формирования покрытий из вакуумно-дуговой и абляционной плазмы с высокой адгезионной прочностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
2010
|
| Seria: | Энергетика |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v316/i4/18.pdf |
| Format: | Elektroniczne Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=183143 |
Podobne zapisy
Biocoatings formed from ablation plasma; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Volokitina T. L. Tatiana Leonidovna
Wydane: (2012)
od: Volokitina T. L. Tatiana Leonidovna
Wydane: (2012)
Построение и анализ генной сети альвеолярных макрофагов при ХОБЛ различной этиологии на основе данных по генной экспрессии с применением программного модуля GRatio; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
Плазмохимический синтез биопокрытий из абляционной плазмы, создаваемой облучением мишени из гидроксиапатита мощными ионными пучками; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
od: Волокитина Т. Л. Татьяна Леонидовна
Wydane: (2013)
od: Волокитина Т. Л. Татьяна Леонидовна
Wydane: (2013)
Источник псевдоленточных пучков ионов металлов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2010)
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2010)
Thermal and chemical passivation of gallium-arsenide films deposited from ablation plasma; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 8, iss. 1
od: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Wydane: (2014)
od: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Wydane: (2014)
Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 6
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2016)
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2016)
Применение метода осаждения из абляционной плазмы для получения биоактивных покрытий на имплантантах; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
od: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Wydane: (2010)
Формирование ассиметричных трековых пор в полимерной матрице, облученных ионом аргона; Вестник НЯЦ РК; Вып. 3 (63)
od: Ахметшарипова Т. К. Тамина Канатовна
Wydane: (2015)
od: Ахметшарипова Т. К. Тамина Канатовна
Wydane: (2015)
Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
Модификация поверхности медицинских материалов методом осаждения биосовместимых покрытий из абляционной плазмы, создаваемой мощными ионными пучками; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11, ч. 3
Wydane: (2013)
Wydane: (2013)
Time-of-Flight Optical Diagnostics of High-Power Pulsed Ion Beams; Technical Physics Letters; Vol. 46, iss. 4
od: Ryzhkov V. A. Vladislav Andreevich
Wydane: (2020)
od: Ryzhkov V. A. Vladislav Andreevich
Wydane: (2020)
Плазмохимическая модификация поверхности трековой мембранной матрицы ПЭТФ для синтеза анизотропной мембраны на её основе; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
od: Ахметшарипова Т. К.
Wydane: (2015)
od: Ахметшарипова Т. К.
Wydane: (2015)
Исследование металлической и газовой плазмы дуговых разрядов низкого давления; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3/2 (приложение)
Wydane: (2014)
Wydane: (2014)
Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
od: Ли Цзень Фень
Wydane: (Томск, [Б. и.], 2006)
High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part I); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2004)
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2004)
High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part II); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2004)
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2004)
Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Wydane: (2022)
Wydane: (2022)
Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
Wydane: (2012)
Wydane: (2012)
Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Wydane: (2022)
Wydane: (2022)
High intensity metal ion beam generation; Vacuum; Vol. 143
Wydane: (2017)
Wydane: (2017)
Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2015)
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2015)
Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 6
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2016)
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Wydane: (2016)
Физика высокочастотного емкостного разряда
od: Савинов В. П.
Wydane: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)
od: Савинов В. П.
Wydane: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)
Formation of Wear-Resistant TiN and (Ti1-x, Alx)N Coatings Using DC Filtered Vacuum Arc Plasma; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Wydane: (2004)
Wydane: (2004)
Investigation of Multilayered Film Structure Properties for Creation of Hydrogen Selective Membrane; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Wydane: (2015)
Wydane: (2015)
Вакуумная ионно-плазменная обработка: учебное пособие
Wydane: (Москва, Инфра-М, 2014)
Wydane: (Москва, Инфра-М, 2014)
Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Wydane: (2011)
Wydane: (2011)
Теплофизические свойства горячей плотной плазмы: пер. с англ.
Wydane: (Москва, Институт компьютерных исследований, 2007)
Wydane: (Москва, Институт компьютерных исследований, 2007)
Исследование зарядового состояния газовой и металлической плазмы с использованием плазменно-иммерсионного времяпролетного спектрометра; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2010)
od: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Wydane: (2010)
Основы плазменной электроники: учебное пособие
od: Протасов Ю. С. Юрий Степанович
Wydane: (Москва, Изд-во МГТУ, 2006)
od: Протасов Ю. С. Юрий Степанович
Wydane: (Москва, Изд-во МГТУ, 2006)
Физические основы высокочастотного нагрева: учебное пособие
od: Шишковский В. И. Виктор Иванович
Wydane: (Томск, STT, 2001)
od: Шишковский В. И. Виктор Иванович
Wydane: (Томск, STT, 2001)
Основы плазменной электроники
od: Кондратенко А. Н. Анатолий Николаевич
Wydane: (Москва, Энергоатомиздат, 1988)
od: Кондратенко А. Н. Анатолий Николаевич
Wydane: (Москва, Энергоатомиздат, 1988)
Формирование протяженных пучково-плазменных образований в полом катоде с распылителями металлической плазмы; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Промышленная кибернетика; Т. 3, № 4
Wydane: (2025)
Wydane: (2025)
Возбуждение плазменной турбулентности в верхней ионосфере Учебное пособие
od: Грач С. М.
Wydane: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012)
od: Грач С. М.
Wydane: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012)
Pulsed plasma-immersion ion implantation of aluminum into VT1-0 titanium; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 80, iss. 2
Wydane: (2016)
Wydane: (2016)
Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
od: Владимирова Л. Н.
Wydane: (Воронеж, ВГУ, 2014)
od: Владимирова Л. Н.
Wydane: (Воронеж, ВГУ, 2014)
Концентрация и температура электронов в плазме диффузного разряда, формируемого при высоких перенапряжениях в плотных газах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 2: Математика и механика. Физика
od: Сорокин Д. А.
Wydane: (2010)
od: Сорокин Д. А.
Wydane: (2010)
Интенсификация тепломассообменных процессов при плазменной обработке диспергированных жидких радиоактивных отходов; Изотопы: технологии, материалы и применение
od: Павленко А. П.
Wydane: (2017)
od: Павленко А. П.
Wydane: (2017)
Ионно-иммерсионная имплантация алюминия в титан ВТ1-0; Известия РАН. Серия физическая; Т. 80, № 2
Wydane: (2015)
Wydane: (2015)