Anfonwch hwn fel neges destun: Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика