Рябчиков А. И. Александр Ильич & Степанов И. Б. Игорь Борисович. (2010). Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика. 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationРябчиков А. И. Александр Ильич and Степанов И. Б. Игорь Борисович. Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика. 2010, 2010.
MLA引文Рябчиков А. И. Александр Ильич and Степанов И. Б. Игорь Борисович. Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика. 2010, 2010.