Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Bibliographic Details
Parent link:	Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие: в 2 т./ под ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники.— , 2010-2011.— 978-5-9963-0341-0
Main Author:	Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Other Authors:	Райнова Ю. П. Юлия Петровна
Published:	2010
Subjects:	гетерогенное фазообразование газовые фазы реакционная конденсация гетерогенные процессы физическая конденсация твердофазная эпитаксия жидкофазная эпитаксия термодиффузионное легирование диффузионные процессы механическое удаление химическое удаление вакуум-термическое удаление физико-химические процессы интенсификация поля излучения учебные пособия радиотехника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=182006

Similar Items

Т. 2: Технологические аспекты
Published: (2011)

Ч. 1
Published: (2008)

Жидкофазная эпитаксия кремния
Published: (Москва, Металлургия, 1989)

Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники пер. с англ.
by: Мартинес-Дуарт Дж. М.
Published: (Москва, Техносфера, 2007)

Технология полупроводниковых материалов [учебное пособие]
by: Акчурин Р. Х. Рауф Хамзинович
Published: (Москва, Изд-во МИХМ, 1985)

Сила нанотехнологий: наука&бизнес
by: Андрюшин Е. А. Евгений Александрович
Published: (Фрязино, Успехи физики, 2007)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2009)

Наноиндентирование и его возможности
by: Головин Ю. И. Юрий Иванович
Published: (Москва, Машиностроение, 2009)

Теория сварочных процессов: моделирование физико-химических процессов в сварном шве учебное пособие
by: Кривоносова Е. А.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2014)

Nanotech Conference & Expo 2010 Vol. 1 : Advanced Materials, CNTs, Particles, Films and Composites An Interdisciplinary Integrative Forum on Nanotechnology, Biotechnology and Microtechnology, June 21-24, 2010 Anaheim, California, U.S.A.
Published: (Boston, NSTI Publisher, 2010)

Nanotechnology Cookbook Practical, Reliable and Jargon-free Experimental Procedures
by: Collins A. M. Andrew
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2012)

German-Russian Forum Nanotechnology programme and abstracts, May, 21-24, 2013, Tomsk, Russia
Published: (Tomsk, 2013)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2005)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2007)

Nanoscience. Nanotechnologies and Nanophysics
Published: (Berlin, Springer, 2007)

Semiconductor Nanomaterials for Flexible Technologies From Photovoltaics and Electronics to Sensors and Energy Storage/Harvesting Devices
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2010)

Управление составом полупроводниковых слоев
by: Романенко В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Металлургия, 1978)

Словарь терминов и определений по стандартизации и метрологии в области нанотехнологий
by: Окрепилов В. В. Владимир Валентинович
Published: (СПб., Наука, 2008)

Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие
by: Гридчин А. В. Александр Викторович
Published: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Нанотехнология: простое объяснение очередной гениальной идеи пер. с англ.
by: Ратнер М. Марк
Published: (Москва [и др.], Вильямс, 2004)

Наноконструирование в науке и технике. Введение в мир нанорасчета пер. с англ.
by: Рит М. Михаэль
Published: (Москва, Регулярная и хаотическая динамика, 2005)

Моделирование и визуализация средствами MATLAB физики наноструктур
by: Матюшкин И. В. Игорь Валерьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2011)

Nanosensors for Chemical and Biological Applications Sensing with Nanotubes, Nanowires and Nanoparticles
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2014)

Разработка жидкофазной технологии дифениламина на фтороборных катализаторах автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.04
by: Вдовин С. Н. Сергей Николаевич
Published: (Томск, 1987)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, Сибирское отделение, 1981)

Выращивание диэлектрических лазерных кристаллов
Published: (Душанбе, Дониш, 1986)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Эпитаксиальные пленки на основе гадолиний-галлиевого граната как перспективный магнитооптический и оптически-активный материал
by: Рандошкин В. В.
Published: (2004)

Технологические проблемы микроэлектроники
Published: (Москва, Наука, 1988)

Развитие нанотехнологий в КРСУ
Published: (Бишкек, Изд-во КРСУ, 2013)

Вып. 36 : Экономика и организация производства микроэлектроники
Published: (1977)

Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии
by: Уфимцев В. Б. Всеволод Борисович
Published: (Москва, Металлургия, 1983)

Кристаллизация и свойства кристаллов межвузовский сборник
Published: (Новочеркасск, Изд-во НПИ, 1978)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
by: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Проблемы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)

Оптимизированные окислительно-восстановительные процессы на основе железа для удаления серы
by: Хегай Д. Л.
Published: (2003)

Стандартизация и метрология в нанотехнологиях
by: Окрепилов В. В. Владимир Валентинович
Published: (СПб., Наука, 2008)

Нанотехнологии. Наука будущего
by: Балабанов В. И. Виктор Иванович
Published: (Москва, Эксмо, 2009)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
by: Курочка С. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)