Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Bibliographic Details
Parent link:	Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие: в 2 т./ под ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники.— , 2010-2011.— 978-5-9963-0341-0
Main Author:	Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Other Authors:	Райнова Ю. П. Юлия Петровна
Language:	Russian
Published:	2010
Subjects:	Нанотехнология Микроэлектроника гетерогенное фазообразование газовые фазы реакционная конденсация гетерогенные процессы физическая конденсация твердофазная эпитаксия жидкофазная эпитаксия термодиффузионное легирование диффузионные процессы механическое удаление химическое удаление вакуум-термическое удаление физико-химические процессы интенсификация поля излучения учебные пособия радиотехника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=182006

Similar Items

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Published: (2008)

Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: пер. с англ.
by: Мартинес-Дуарт Дж. М.
Published: (Москва, Техносфера, 2007)

Жидкофазная эпитаксия кремния
Published: (Москва, Металлургия, 1989)

Сила нанотехнологий: наука&бизнес
by: Андрюшин Е. А. Евгений Александрович
Published: (Фрязино, Успехи физики, 2007)

Технология полупроводниковых материалов: [учебное пособие]
by: Акчурин Р. Х. Рауф Хамзинович
Published: (Москва, Изд-во МИХМ, 1985)

Теория сварочных процессов: моделирование физико-химических процессов в сварном шве учебное пособие
by: Кривоносова Е. А.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2014)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2007)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2005)

Nanotech Conference & Expo 2010; Vol. 1 : Advanced Materials, CNTs, Particles, Films and Composites: An Interdisciplinary Integrative Forum on Nanotechnology, Biotechnology and Microtechnology, June 21-24, 2010 Anaheim, California, U.S.A.
Published: (Boston, NSTI Publisher, 2010)

German-Russian Forum Nanotechnology: programme and abstracts, May, 21-24, 2013, Tomsk, Russia
Published: (Tomsk, 2013)

Nanotechnology Cookbook: Practical, Reliable and Jargon-free Experimental Procedures
by: Collins A. M. Andrew
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2012)

Управление составом полупроводниковых слоев
by: Романенко В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Металлургия, 1978)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2009)

Словарь терминов и определений по стандартизации и метрологии в области нанотехнологий
by: Окрепилов В. В. Владимир Валентинович
Published: (СПб., Наука, 2008)

Эпитаксиальные пленки на основе гадолиний-галлиевого граната как перспективный магнитооптический и оптически-активный материал; Наукоемкие технологии; № 11
by: Рандошкин В. В.
Published: (2004)

Semiconductor Nanomaterials for Flexible Technologies: From Photovoltaics and Electronics to Sensors and Energy Storage/Harvesting Devices
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2010)

Nanoscience. Nanotechnologies and Nanophysics
Published: (Berlin, Springer, 2007)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, Сибирское отделение, 1981)

Выращивание диэлектрических лазерных кристаллов
Published: (Душанбе, Дониш, 1986)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Разработка жидкофазной технологии дифениламина на фтороборных катализаторах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.04
by: Вдовин С. Н. Сергей Николаевич
Published: (Томск, 1987)

Развитие нанотехнологий в КРСУ
Published: (Бишкек, Изд-во КРСУ, 2013)

Нанотехнология: простое объяснение очередной гениальной идеи: пер. с англ.
by: Ратнер М. Марк
Published: (Москва [и др.], Вильямс, 2004)

Оптимизированные окислительно-восстановительные процессы на основе железа для удаления серы; Нефтегазовые технологии; № 3
by: Хегай Д. Л.
Published: (2003)

Нанотехнологии. Наука будущего
by: Балабанов В. И. Виктор Иванович
Published: (Москва, Эксмо, 2009)

Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии
by: Уфимцев В. Б. Всеволод Борисович
Published: (Москва, Металлургия, 1983)

Кристаллизация и свойства кристаллов: межвузовский сборник; Вып. 5
Published: (Новочеркасск, Изд-во НПИ, 1978)

Nanosensors for Chemical and Biological Applications: Sensing with Nanotubes, Nanowires and Nanoparticles
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2014)

Наноконструирование в науке и технике. Введение в мир нанорасчета: пер. с англ.
by: Рит М. Михаэль
Published: (Москва, Регулярная и хаотическая динамика, 2005)

Моделирование и визуализация средствами MATLAB физики наноструктур
by: Матюшкин И. В. Игорь Валерьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2011)

Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост учебник для вузов
by: Александрова О. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
by: Курочка С. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Вып. 36 : Экономика и организация производства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Published: (1977)

Технологические проблемы микроэлектроники
Published: (Москва, Наука, 1988)

Основы нанотехнологии: учебник
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014)

Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
by: Корнилов Р. В. Ростислав Васильевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Процессы и аппараты для объектов промысловой подготовки нефти и газа
by: Каспарьянц К. С. Константин Саакович
Published: (Москва, Недра, 1977)

Проблемы микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1986)