Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Bibliografische gegevens
Parent link:	Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие: в 2 т./ под ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники.— , 2010-2011.— 978-5-9963-0341-0
Hoofdauteur:	Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Andere auteurs:	Райнова Ю. П. Юлия Петровна
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2010
Onderwerpen:	Нанотехнология Микроэлектроника гетерогенное фазообразование газовые фазы реакционная конденсация гетерогенные процессы физическая конденсация твердофазная эпитаксия жидкофазная эпитаксия термодиффузионное легирование диффузионные процессы механическое удаление химическое удаление вакуум-термическое удаление физико-химические процессы интенсификация поля излучения учебные пособия радиотехника
Formaat:	MixedMaterials Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=182006

Gelijkaardige items