|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
182006 |
| 005 |
20231101223648.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785996303359
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\197288
|
| 090 |
|
|
|a 182006
|
| 100 |
|
|
|a 20100616d2010 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
|f Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
|
| 210 |
|
|
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 392 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 386-389.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\200226
|y 978-5-9963-0341-0
|t Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
|o учебное пособие: в 2 т.
|f под ред. Ю. Н. Коркишко
|v Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
|d 2010-2011
|s Нанотехнологии
|
| 606 |
1 |
|
|a Нанотехнология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51510
|9 70088
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенное фазообразование
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a реакционная конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a физическая конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a твердофазная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a термодиффузионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a механическое удаление
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое удаление
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум-термическое удаление
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсификация
|
| 610 |
1 |
|
|a поля
|
| 610 |
1 |
|
|a излучения
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a радиотехника
|
| 675 |
|
|
|a 620.3(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Чистяков
|b Ю. Д.
|g Юрий Дмитриевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Райнова
|b Ю. П.
|g Юлия Петровна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100616
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180305
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 42/20100611
|d 2
|e 300,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
