Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Bibliographic Details
Parent link:	Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие: в 2 т./ под ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники.— , 2010-2011.— 978-5-9963-0341-0
Main Author:	Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Other Authors:	Райнова Ю. П. Юлия Петровна
Published:	2010
Subjects:	гетерогенное фазообразование газовые фазы реакционная конденсация гетерогенные процессы физическая конденсация твердофазная эпитаксия жидкофазная эпитаксия термодиффузионное легирование диффузионные процессы механическое удаление химическое удаление вакуум-термическое удаление физико-химические процессы интенсификация поля излучения учебные пособия радиотехника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=182006

Description
Physical Description:	392 с. ил.
ISBN:	9785996303359

Similar Items