Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич & Райнова Ю. П. Юлия Петровна. (2010). Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники. 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationЧистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич and Райнова Ю. П. Юлия Петровна. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники. 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationЧистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич and Райнова Ю. П. Юлия Петровна. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники. 2010, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.