Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич & Райнова Ю. П. Юлия Петровна. (2010). Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2010.
Chicago Style aipamenaЧистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич and Райнова Ю. П. Юлия Петровна. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2010, 2010.
MLA aipamenaЧистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич and Райнова Ю. П. Юлия Петровна. Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. 2010, 2010.
Kontuz: berrikusi erreferentzia hauek erabili aurretik.