Методики определения параметров вакуумных систем. Лабораторный практикум

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Кузнецов Г. Д.
Résumé:	Рекомендован редакционно-издательским советом института Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устройства для измерения вакуума и определения его параметров. Приводится методика определения параметров вакуумных систем, имеющих различный рабочий объем и межсоединения. Дается методика работы с вакуумметрами различного типа; рассматриваются методики создания высокого вакуума с применением диффузионных насосов и систем безмасляной откачки; анализируются особенности конструкций систем откачки; приводятся методики определения быстроты достижения сверхвысокого вакуума и способы его измерения; дается описание методики определения натекания в вакуумной системе с помощью стандартных систем течеискателей. Предназначен для студентов специальности 200100 и направления 550700. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Publié:	Москва, МИСИС, 2002
Sujets:	водорода азоте производство полупроводниковых приборов методы очистки газов аппаратура сорбентов влаги pd-катализаторов очистка водорода диффузионная очистка катализационно-сорбционная очистка точка росы градуировочная таблица термопарный пирометр давление насыщенного пара воды вакуум вакуумная система средства откачки эффективная скорость откачки производительность насосов экипировка конструкция вакуумной части режимы работ течеискателя настройка течеискателя пик гелия минимальный поток гелия цена деления запуск течеискателя вакуумные испытания герметичность натекание погрешность измерения величина печи зависимость погрешности поток газа система напуска газа вакуумная камера внешняя среда технологические процессы микроэлектроники классификация газоанализаторов спектр масс спектральные характеристики газоанализаторы парциальных давлений компонентов остаточная газовая среда технические данные принцип работы масс-спектрометра включение прибора получение спектра выключение прибора
Accès en ligne:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=1819 https://e.lanbook.com/img/cover/book/1819.jpg
Format:	Électronique Livre