Методики определения параметров вакуумных систем. Лабораторный практикум
| Autor principal: | |
|---|---|
| Sumario: | Рекомендован редакционно-издательским советом института Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устройства для измерения вакуума и определения его параметров. Приводится методика определения параметров вакуумных систем, имеющих различный рабочий объем и межсоединения. Дается методика работы с вакуумметрами различного типа; рассматриваются методики создания высокого вакуума с применением диффузионных насосов и систем безмасляной откачки; анализируются особенности конструкций систем откачки; приводятся методики определения быстроты достижения сверхвысокого вакуума и способы его измерения; дается описание методики определения натекания в вакуумной системе с помощью стандартных систем течеискателей. Предназначен для студентов специальности 200100 и направления 550700. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Publicado: |
Москва, МИСИС, 2002
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=1819 https://e.lanbook.com/img/cover/book/1819.jpg |
| Formato: | Electrónico Libro |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 1819 | ||
| 100 | |a 20250516d2002 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Методики определения параметров вакуумных систем. Лабораторный практикум |b Электронный ресурс |f Кузнецов Г. Д. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МИСИС |d 2002 | ||
| 215 | |a 75 с. | ||
| 300 | |a Рекомендован редакционно-издательским советом института | ||
| 330 | |a Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устройства для измерения вакуума и определения его параметров. Приводится методика определения параметров вакуумных систем, имеющих различный рабочий объем и межсоединения. Дается методика работы с вакуумметрами различного типа; рассматриваются методики создания высокого вакуума с применением диффузионных насосов и систем безмасляной откачки; анализируются особенности конструкций систем откачки; приводятся методики определения быстроты достижения сверхвысокого вакуума и способы его измерения; дается описание методики определения натекания в вакуумной системе с помощью стандартных систем течеискателей. Предназначен для студентов специальности 200100 и направления 550700. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a водорода | |
| 610 | 0 | |a азоте | |
| 610 | 0 | |a производство полупроводниковых приборов | |
| 610 | 0 | |a методы очистки газов | |
| 610 | 0 | |a аппаратура | |
| 610 | 0 | |a сорбентов влаги | |
| 610 | 0 | |a pd-катализаторов | |
| 610 | 0 | |a очистка водорода | |
| 610 | 0 | |a диффузионная очистка | |
| 610 | 0 | |a катализационно-сорбционная очистка | |
| 610 | 0 | |a точка росы | |
| 610 | 0 | |a градуировочная таблица | |
| 610 | 0 | |a термопарный пирометр | |
| 610 | 0 | |a давление насыщенного пара воды | |
| 610 | 0 | |a вакуум | |
| 610 | 0 | |a вакуумная система | |
| 610 | 0 | |a средства откачки | |
| 610 | 0 | |a эффективная скорость откачки | |
| 610 | 0 | |a производительность насосов | |
| 610 | 0 | |a экипировка | |
| 610 | 0 | |a конструкция вакуумной части | |
| 610 | 0 | |a режимы работ | |
| 610 | 0 | |a течеискателя | |
| 610 | 0 | |a настройка течеискателя | |
| 610 | 0 | |a пик гелия | |
| 610 | 0 | |a минимальный поток гелия | |
| 610 | 0 | |a цена деления | |
| 610 | 0 | |a запуск течеискателя | |
| 610 | 0 | |a вакуумные испытания | |
| 610 | 0 | |a герметичность | |
| 610 | 0 | |a натекание | |
| 610 | 0 | |a погрешность измерения | |
| 610 | 0 | |a величина печи | |
| 610 | 0 | |a зависимость погрешности | |
| 610 | 0 | |a поток газа | |
| 610 | 0 | |a система напуска газа | |
| 610 | 0 | |a вакуумная камера | |
| 610 | 0 | |a внешняя среда | |
| 610 | 0 | |a технологические процессы микроэлектроники | |
| 610 | 0 | |a классификация газоанализаторов | |
| 610 | 0 | |a спектр масс | |
| 610 | 0 | |a спектральные характеристики | |
| 610 | 0 | |a газоанализаторы | |
| 610 | 0 | |a парциальных давлений компонентов | |
| 610 | 0 | |a остаточная газовая среда | |
| 610 | 0 | |a технические данные | |
| 610 | 0 | |a принцип работы масс-спектрометра | |
| 610 | 0 | |a включение прибора | |
| 610 | 0 | |a получение спектра | |
| 610 | 0 | |a выключение прибора | |
| 675 | |a 621.52 | ||
| 700 | 1 | |a Кузнецов |b Г. Д. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=1819 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/1819.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/1819.jpg | ||