Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники - Васин В. А. Владимир Анатольевич (Москва, Изд-во МИЭМ, 2009)
Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.