Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум

מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי:	Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
מחברים אחרים:	Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич, Курочка С. П. Сергей Петрович, Кушхов А. Р. Аскер Русланович, Демченкова Д. Н. Дарья Николаевна, Курочка А. С. Александр Сергеевич
סיכום:	Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Учеба, 2007
נושאים:	Наноэлектроника микроразмерные пленочные гетерокомпозиции наноразмерные пленочные гетерокомпозиции травление ионно-плазменные технологии металлические пленки магнетронное распыление катодное распыление электронная эмиссия электроискровое нанесение плазмохимическое травление лабораторные работы лабораторные практикумы учебные пособия
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177795