Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум

Bibliographic Details
Corporate Author:	Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
Other Authors:	Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич, Курочка С. П. Сергей Петрович, Кушхов А. Р. Аскер Русланович, Демченкова Д. Н. Дарья Николаевна, Курочка А. С. Александр Сергеевич
Summary:	Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Language:	Russian
Published:	Москва, Учеба, 2007
Subjects:	Наноэлектроника микроразмерные пленочные гетерокомпозиции наноразмерные пленочные гетерокомпозиции травление ионно-плазменные технологии металлические пленки магнетронное распыление катодное распыление электронная эмиссия электроискровое нанесение плазмохимическое травление лабораторные работы лабораторные практикумы учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177795

Similar Items

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2010)

Зондовые нанотехнологии в электронике
by: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Published: (Москва, Техносфера, 2005)

Гиганский магнитный импеданс как метод исследования магнитных плёночных наноструктур; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Волчков С. О.
Published: (2010)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Получение и исследование наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям
Published: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
by: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Москва, Техносфера, 2007)

Зондовые нанотехнологии в электронике: учебное пособие для вузов
by: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Published: (Москва, Техносфера, 2006)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Моделирование процесса получения мелкоразмерных частиц с использование плазменного распыления; Инновационные технологии в машиностроении
by: Кузнецов М. А. Максим Александрович
Published: (2020)

[Вып. 2]; Нанотехнологии в электронике
Published: (2013)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Published: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
by: Яфаров Р. К.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Ходыревская Ю. И.
Published: (2012)

Effect of pulsed electron beam treatment on the physico-mechanical properties of hydroxyapatite-coated titanium; Ceramics International; Vol. 42, iss. 1, pt. B
Published: (2016)

Фотонные кристаллы и нанокомпозиты: структурообразование, оптические и диэлектрические свойства
Published: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2009)

Искровой метод счета треков в радиометрии и дозиметрии (обзор); АНРИ; Аппаратура и новости радиационных измерений; № 4
by: Николаев В. А.
Published: (2005)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Published: (2016)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1987)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
by: Shevchenko I. M.
Published: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сборник статей
Published: (Москва, Техносфера, 2005)

Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие
by: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
by: Мевис А. Ф.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Смирнова К. И.
Published: (Томск, 1971)

Процессы на поверхности твердых тел, активируемые ионными пучками: монография
by: Восилюс Й.
Published: (Вильнюс, Мокслас, 1987)

Nanoelectronics and Information Technology. Advanced Electronic Materials and Novel Devices
Published: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA, 2012)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике
Published: (Москва, Мир, 1998)

Разработка и внедрение многоэлементных методик контроля частоты п/п материалов и методик послойного анализа CaAs: заключительный отчет о НИР; тема: 5-3/79
Published: (Томск, 1980)

Нестационарные процессы в катодном пятне вакуумной дуги в области пороговых токов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 05.27.02 - Вакуумная и плазменная электроника
by: Мурзакаев А. М. Айдар Марксович
Published: (Томск, 1990)

Введение в микросистемную технику
by: Нарайкин О. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Published: (2009)