Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум

Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
Altri autori:	Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич, Курочка С. П. Сергей Петрович, Кушхов А. Р. Аскер Русланович, Демченкова Д. Н. Дарья Николаевна, Курочка А. С. Александр Сергеевич
Riassunto:	Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Учеба, 2007
Soggetti:	Наноэлектроника микроразмерные пленочные гетерокомпозиции наноразмерные пленочные гетерокомпозиции травление ионно-плазменные технологии металлические пленки магнетронное распыление катодное распыление электронная эмиссия электроискровое нанесение плазмохимическое травление лабораторные работы лабораторные практикумы учебные пособия
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177795

Documenti analoghi

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
di: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций: курс лекций
di: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Pubblicazione: (2011)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Зондовые нанотехнологии в электронике
di: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2005)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
di: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
di: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Гиганский магнитный импеданс как метод исследования магнитных плёночных наноструктур; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Волчков С. О.
Pubblicazione: (2010)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Получение и исследование наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям
Pubblicazione: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Зондовые нанотехнологии в электронике: учебное пособие для вузов
di: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2006)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Pubblicazione: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
di: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2007)

[Вып. 2]; Нанотехнологии в электронике
Pubblicazione: (2013)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Ходыревская Ю. И.
Pubblicazione: (2012)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Pubblicazione: (2016)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
di: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1987)

Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сборник статей
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2005)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
di: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Моделирование процесса получения мелкоразмерных частиц с использование плазменного распыления; Инновационные технологии в машиностроении
di: Кузнецов М. А. Максим Александрович
Pubblicazione: (2020)

Nanoelectronics and Information Technology. Advanced Electronic Materials and Novel Devices
Pubblicazione: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA, 2012)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2018)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Effect of pulsed electron beam treatment on the physico-mechanical properties of hydroxyapatite-coated titanium; Ceramics International; Vol. 42, iss. 1, pt. B
Pubblicazione: (2016)

Искровой метод счета треков в радиометрии и дозиметрии (обзор); АНРИ; Аппаратура и новости радиационных измерений; № 4
di: Николаев В. А.
Pubblicazione: (2005)

Исследование твёрдости многослойных плёночных структур титан-гидрогенизированный аморфный углерод микро- и наноиндентированием; Справочник. Инженерный журнал; № 9
Pubblicazione: (2004)

Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие
di: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Microelectronics to Nanoelectronics: Materials, Devices & Manufacturability
Pubblicazione: (New York, Taylor & Francis Group, 2013)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2016)

Фотонные кристаллы и нанокомпозиты: структурообразование, оптические и диэлектрические свойства
Pubblicazione: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2009)

Процессы на поверхности твердых тел, активируемые ионными пучками: монография
di: Восилюс Й.
Pubblicazione: (Вильнюс, Мокслас, 1987)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
di: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Pubblicazione: (2009)

Ч. 2; Наноэлектроника
Pubblicazione: (2019)

Основы нано- и функциональной электроники: учебное пособие
di: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Нестационарные процессы в катодном пятне вакуумной дуги в области пороговых токов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 05.27.02 - Вакуумная и плазменная электроника
di: Мурзакаев А. М. Айдар Марксович
Pubblicazione: (Томск, 1990)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Смирнова К. И.
Pubblicazione: (Томск, 1971)

Наноэлектроника: учебник для бакалавриата и магистратуры
di: Щука А. А. Александр Александрович
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2019)

Разработка и внедрение многоэлементных методик контроля частоты п/п материалов и методик послойного анализа CaAs: заключительный отчет о НИР; тема: 5-3/79
Pubblicazione: (Томск, 1980)